针对荷兰ASML公司延迟出货EUV光刻机的报道，中芯国际刚刚也作出了回应，称“极紫外光（EUV）还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。”
早些时候ASML也澄清称，关于日经新闻（NIKKEI）有关中芯国际相关报导有误，“延迟出货”仅为其媒体推测，ASML从未评论或确认，对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述，表示抗议。
ASML表示，对全球客户一视同仁。根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可（export license）。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准。
据了解，中芯国际目前量产的最先进制程为14nm，12nm已经取得重大突破。而EUV光刻机主要用在7nm及以下制程。
